Наносборка пленок – новый метод выращивания бездефектных эпитаксиальных структур

01.11.2012



Институт проблем машиноведения Российской академии наук

С. А. Кукушкин

 

НАНОСБОРКА ПЛЕНОК – НОВЫЙ МЕТОД ВЫРАЩИВАНИЯ БЕЗДЕФЕКТНЫХ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СТРУКТУР (pdf, 2 Мб)

 

©РАН 2024