Глава РАН Геннадий Красников и вице-премьер Денис Мантуров посетили предприятия по производству оборудования для микроэлектроники в Зеленограде

Глава РАН академик Геннадий Красников и заместитель Председателя Правительства – глава Минпромторга Денис Мантуров посетили Научно-исследовательский институт точного машиностроения (НИИТМ) и Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ) в Зеленограде.

Вице-премьер ознакомился с уникальной физико-химической аналитической лабораторией НИИМЭ для проведения исследований в области контроля качества технологических сред. В мире действуют единицы подобных лабораторий, в Европе — не более трёх.

Лаборатория занимается сертифицированием материалов, носящих общеотраслевой стратегический характер и необходимых для организации производства в микроэлектронике и других отраслях промышленности.

Вице-премьер осмотрел специальное технологическое оборудование атомарно-слоевого осаждения разработки НИИТМ, которое используется при создании технологии производства сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти, и отечественные установки плазмохимического травления для топологических норм 180–90 нм.

Денису Мантурову продемонстрировали разработанное в рамках субсидии Минпромторга России на НИОКР оборудование и процесс серийного изготовления отечественных материалов для микроэлектронного производства.