В 1983 году окончил физико-технический
факультет Московского государственного института электронной техники с
присвоением квалификации «Автоматика и электроника». Далее там же: аспирант,
руководитель в течение тридцати лет Научно-производственного комплекса
«Технологический центр» МИЭТ. С 2009 года — директор Института нанотехнологий
микроэлектроники РАН.
Зав. базовой кафедрой
«Микроэлектроника и микросистемы» Московского государственного института
электронной техники.
Член-корреспондент РАН c 2008 года,
академик РАН c 2016 года — Отделение нанотехнологий и информационных
технологий.
Специалист в области разработки и
применения конструктивно-технологических методов и приемов самоформирования в
микро- и наноэлектронике и микро- и наносистемной технике.
Сфера научной деятельности академика А.Н.
Саурова: применимость методов самоформирования и самосовмещения для создания
элементной, базы СБИС и микросистем, на основе которой разработаны технологии
изготовления ряда самоеовмещенных биполярных, комплементарных биполярных
интегральных структур; создание на основе методов самоформирования
конструктивно-технологического базиса для скоростных заказных схем и базовых
матричных кристаллов, а также для микросистем; методы создания
наноструктурированных элементов и устройств на их основе. А.Н. Сауров
занимается созданием новых конструктивно-технологических методов и приемов
изготовления интегральных устройств и систем микро- и наноэлектроники на основе
методов самоформирования и самосовмещения, позволяющих создавать базовые
элементы с нанометровыми конструктивными размерами для систем и аппаратуры,
имеющих большое практическое народно-хозяйственное значение.
Как ученый и организатор производства
А.Н. Сауров проявился при создании и развитии научно-исследовательского
комплекса ИНМЭ РАН — новейшего института Российской академии наук. В кратчайший
срок удалось создать мощную научно-производственную базу, оснащенную современной
уникальной техникой и оборудованием, развивать новейшее научно-техническое
направление, обеспечивающее эволюционный переход от микроэлектроники и
микросистемной техники к наноэлектронике. Научной школе академика А.Н. Саурова
удалось расширить возможности существующей элементной базы микроэлектроники и
открыть перспективы перехода на качественно новый уровень развития отрасли —
нанотехнологий.
Основные научные результаты А.Н Саурова:
- разработаны фундаментальные основы
и созданы конструктивно-технологические решения получения функциональных
элементов на основе кремний-углеродных нанотехнологий микроэлектроники;
- разработаны и запатентованы
конструкции и технологии изготовления целого ряда самосовмещенных интегральных
транзисторных структур, а также интегральных микродатчиков, в том числе на
основе методов самоформирования;
- созданы технологии для элементной
базы в области аналоговых и цифровых интегральных схем со сверхнизким потреблением
энергии, радиационностойких БИС, а также микросистем;
- разработаны методы модификации
поверхностных слоевых структур для создания наноразмерных элементов для
наноэлектроники и наноэлектромеханических систем.
При непосредственном участии А.Н. Саурова
были подготовлены и защищены 10 кандидатских и докторских диссертаций.
Автор более 120 научных работ, из них
27 авторских свидетельств и патентов. Одной из крупных публикаций является
перевод Справочника Шнрингера по нанотехнологиям в 3-х томах под общей редакцией
А.Н. Саурова. Основные результаты научной работы А.Н. Саурова только за
последние 10 лет представлены в 38 патентах и 92 научных трудах, в том числе —
в двух монографиях: «Doping of Carbon Nanotubes»(Легирование углеродных
нанотрубок), опубликованной издательством Springer в 2017 г., и «Физика
полупроводниковых преобразователей», изданной РАН в 2018 г.
Является членом редакционных советов
журналов «Микросистемная техника» и «Наноиндустрия», член редколлегии журнала
«Известия ВУЗов. Электроника».
Член Бюро Отделения нанотехнологий и информационных технологий РАН.
Член научных советов Федеральных
целевых научно-технических программ, член научного совета при Совете
Безопасности РФ, член Межведомственного Совета по присуждению премий
Правительства РФ в области науки и техники, член научно-технического совета НПК
«Технологический центр» МИЭТ, член Ученого совета МИЭТ, член диссертационного
совета по специальности Д05.27.01 МИЭТ, член Совета директоров предприятий г. Зеденограда.
Награжден орденом «Знак. Почета»,
медалью ордена «За заслуги перед Отечеством» I и II ст., орденом Александра Невского.
Трижды лауреат премий Правительства
РФ в области науки и техники.